短程序参数是描述固溶体的微观不均匀性的一个参数 。可引入用αi表示。定义为αi=1-ni/mACi，式中mA为由A、B组元构成的合金成分中A原子数分数，Ci为以溶质B原子为中心的一系列同心球面中第i层球面上的原子数，mACi为第i层球面上A原子数目，ni为第i层球面上A原子的平均数目。当固溶体为完全无序分布时，ni应等于mACi，即短程序参数为零；若ni＞ mACi，短程序参数为负，表明A原子与异类原子相邻的概率高于无序分布，即处于短程有序状态；若ni＜ mACi时，短程序参数为正，即固溶体处于同类原子相邻概率较高的偏聚状态 。描述异种原子偏聚的化学短程有序参数(CSRO)是其中一种重要类型 。针对多组元高熵合金，结合三维原子探针实验数据与蒙特卡洛模拟来表征短程序的方法（GM-SRO参数）也在不断发展。在传统合金中，Warren-Cowley参数常用作描述合金中的偏好原子对相对含量，并可通过单晶漫散射实验进行解析。对于组元更多的高熵合金，通过结合三维原子探针实验数据与蒙特卡洛模拟来表征短程序参数的方法也在发展 。
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