扫描式电子显微镜/扫描探针显微镜属于分析仪器，由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统等组成，2006年12月1日启用于化学领域。其XY方向分辨率为0.2nm，Z方向为0.01nm，扫描电子显微镜(SEM)采用电子束扫描样品表面激发二次电子信号，分辨率可达0.4nm，景深为光学显微镜的300倍以上。扫描探针显微镜(SPM)通过检测针尖与样品间的微弱作用力或隧穿电流获取表面形貌，可实现原子级分辨率。
扫描式电子显微镜工作模式包括二次电子成像（表面形貌）、背散射电子成像（成分分析）及特征X射线检测（元素分析），支持导体和非导体样品观察。扫描探针显微镜涵盖原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)等类型，AFM支持接触模式、轻敲模式和非接触模式，适用生物样品及纳米机械性能分析。两者广泛应用于材料科学、生物学、地质学、医学等领域，用于表面形貌观察、失效分析及纳米结构研究。
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