超净间（Clean Room）亦称无尘室或清净室，是通过控制空气中微粒、温湿度、压力、气流速度与气流分布、噪音、照明及静电等参数形成的封闭洁净空间 ，能持续维持设定环境性能以满足精密制造需求。其主要应用于半导体、制药等行业，为产品生产提供可控环境，建筑材料多采用不易脱落材料，管道口需密封处理 。
超净间按气流模式分为乱流式与层流式两类，其中层流式包含水平和垂直两种形态。国际标准采用美国联邦标准FS 209E、ISO 14644-1分级体系及日本公制Class分级体系，管控项目涵盖微粒清除、温湿调节、压力控制等10项核心要素。按用途可分为工业超净间（用于电子、航天、光学等领域）和生物超净间（用于医疗、实验室等场景），其中生物超净间在药品生产、细胞培养、病毒疫苗制备等领域应用广泛 。其构成包含天花板系统、空调系统、隔墙板、地板及照明五大模块，配备HEPA过滤器实现空气循环净化 。洁净度等级根据单位体积内颗粒物浓度划分，例如千级洁净室要求每立方英尺直径大于0.5微米的颗粒数不超过1000个 ，2025年我国建成首个半导体机器人装配洁净室，颗粒浓度控制达ISO Class 2级标准，配备晶圆厂级温湿度及静电控制体系 。污染控制方法包括设置黏性地板垫、更衣区分隔区、风淋室及空气压力梯度控制系统 。
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